設備名稱 

表面輪廓儀(Alpha-Step IQ)

廠牌型號

KLA Tencor Alpha- Step IQ

 

 

服務項目

（用途說明）

1. 表面粗糙度量測

2. 表面輪廓量測

重要規格

1. 再現性 (Repeatability)：8A (1 sigma)

2. 最大掃瞄長度 (Max. Scan Length)：10mm (400mil)

3. 掃瞄速度 (Scan Speed)：2um/sec. to 200um/sec.

4. 最大垂直範圍 (Max. Vertical Range)：0~2000 um

5. 探針尖端半徑 (Stylus Radius)：5.0 um

6. 資料取樣頻率 (Sampling Rate)：可設定50, 100, 200, 

    500, 1000 Hz

圖片

   標準作業手冊

(SOP)

1. Alpha-Step User Manual

2. 簡易版注意事項