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設備名稱 |
旋鍍機(Spin-coater) |
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廠牌型號 |
MODEL WS |
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服務項目 （用途說明） |
以離心力塗佈光阻於玻璃或矽基板上 |
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圖片 |
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標準作業手冊 (SOP) |
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設備名稱 |
旋鍍機(Spin-coater) |
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廠牌型號 |
MODEL WS |
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服務項目 （用途說明） |
以離心力塗佈光阻於玻璃或矽基板上 |
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圖片 |
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標準作業手冊 (SOP) |
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