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負責人:張宇睿 設備名稱:掃描電子顯微鏡（JSM-IT200 SEM） 機台性能:放大倍率10萬倍、解析度達3奈米 機台敘述:觀察微觀尺度，可提供高解析度及高景深影像 |
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負責人:李至麟 設備名稱:表面輪廓儀（Bruker DektakXT Stylus Profiler） 機台性能:掃描範圍達55mm、垂直範圍達1mm、重複性小於0.4nm 機台敘述:測量薄膜厚度、應力、表面粗糙度和形狀 |