01

Yu, J. and Lan, C. (1999), “System Modeling and Robust Design of Microaccelerometer Using Piezoelectric Thin Film”, Proceedings of the 1999 IEEE International Conference on Multisensor Fusion and Integration for Intelligent Systems, Taipei, ROC., pp. 99-104. (NSC 88-2216-E-011-013)  

02

Yu, J. （余志成） and Lan, C. (2001), “System Modeling of Microaccelerometer Using Piezoelectric Thin Films”, Sensors and Actuators A 88, 178-186  (NSC 88-2216-E-011-013) (SCI/EI)  

03

Yu, J. （余志成） and Lai, F.H. (2001), “Design And Fabrication Of Microaccelerometers Using Piezoelectric Thin Films”, Ferroelectrics, Vol.263, pp.101-106. (NSC89-2216-E011-027) (SCI/EI)

04

藍慶斌、余志成 (1999), “壓電薄膜加速度微感測器之設計穩健化“, 中國機械工程學會第十六屆全國學術研討會, 新興工程技術組論文集,pp. 140-147 (NSC 88-2216-E-011-013)

05

藍慶斌、余志成 (1998), “壓電薄膜加速度微感測器之系統模擬分析“, 中華民國力學學會第二十三屆全國力學會議論文集（三）, pp. 1-8.(NSC 88-2216-E-011-013)

06

余志成、藍慶斌 (2000), “應用田口方法於壓電薄膜加速度微感測器之結構設計“, 第四屆亞太品質工程研討會論文集, pp.125-132  (NSC 88-2216-E-011-013)

07

余志成 (2000), “鐵電薄膜微感測元件系統模擬與設計分析之研究”，第六屆微機電系統成果發表會論文集, pp. 171-175. (NSC 88-2216-E-011-013)

08

賴富信、余志成 (2000),”壓電薄膜微加速度計之設計系統模擬與頻率響應穩健化”,中國機械工程學會第十七屆全國學術研討會，新興工程技術論文集，Dec. 8-9, 2000, 高雄第一科技大學(NSC 89-2210-E-011-027)

09

  李幸峰、余志成, (2001), “壓電薄膜加速度微感測元件之製程規劃與研究”, 中國機械工程學會第十八屆全國學術研討會，新興工程技術論文集，2001/12/7-8，台灣科技大學.  (NSC 89-2218-E-011-039)  

10

  何建龍、蕭志誠、余志成 (2002) “高深寬比化學濕蝕刻凸形角落補償尺寸之探討” 中國機械工程學會第十九屆全國學術研討會，2002/11/29-30，虎尾技術學院.  

11

蕭志誠、余志成(2002) “壓電薄膜微加速度計之製程分析與設計最佳化” 中國機械工程學會第十九屆全國學術研討會，2002/11/29-30，虎尾技術學院.

12

許怡儒、余志成(2003) “鋯鈦酸鉛薄膜於聲波元件之應用探討” 中國機械工程學會第二十屆全國學術研討會，2003/12/5-6，國立台灣大學。(NSC 91-2215-E-327-001)。

13

林宜良、林煌堯、余志成 (2003) “化學溼蝕刻高深寬比凸角矽結構光罩補償圖形設計” 第三屆機密機械製造研討會，2003/12/5，國立中山大學(NSC 92-2815-C-327-008-E)。

14

藍偉誌、姚聖恩、鄭博任、余志成,(2004), “攪拌方式與蝕刻幾何特徵對KOH矽蝕刻蝕刻速率及表面粗糙度的影響” 中國機械工程學會第二十一屆全國學術研討會，新興工程技術論文集，pp.5347-5352, 2004/11/26-27，國立中山大學(工研院93R12G)。

15

Yu,J.(余志成)  and C.C. Huang,(2004) ,“The Lamb-Wave Device Using PZT Sol-Gel Thin Film for Mass-Loading Sensing” 第八屆奈米工程暨微系統技術研討會， 2004/12/2-3，國立清華大學(NSC-92-2216-E-327-001)。

16

何建龍、余志成,(2004) ,“壓電微型加速度計之製作與特性量測” 第八屆奈米工程暨微系統技術研討會， 2004/12/2-3，國立清華大學(NSC-92-2216-E-327-001)。

17

Jyh-Cheng YU（余志成） and Jong-Xin Tsai (2006) “Design and Manufacturing of Lamb-Wave Biosensors Using PZT on SiN Thin Film” 國立高雄第一科大工學院2006年教師研發成果研討會，2006/3，國立高雄第一科技大學. (NSC-93-2216-E-327-001)

18

余志成、李佩君、江韋翰、紀源聰(2006)“結合非等向矽蝕刻與微電鑄於LCD導光板模仁的製作”，第五屆海峽兩岸製造技術研討會論文集，2006年4月24~25日，國立高雄第一科技大學.

19

Jyh-Cheng YU（余志成） and Huang-Yao Lin (2006), “The FPW Resonator Device Using PZT Sol-Gel Thin Film for Liquid Density Sensing” 2006/12/15-16，中國機械工程學會第二十三屆全國學術研討會論文集, 2006/11/24-25，崑山科技大學，台南。

20

Jyh-Cheng YU（余志成） and Huang-Yao Lin (2006), “Liquid Density Sensing Using a FPW Resonator in PZT/SiNx Membrane” 第十屆奈米工程暨微系統技術研討會, 2006/11/30, 工研院，新竹。

21

李佩君、余志成(2007)“結合非等向矽蝕刻與微電鑄於光學增亮膜片的製作”，中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集, 2007/11/23-24，中原大學，桃園。

22

J. Yu （余志成）and H.Y. Lin (2007) “Liquid Density Sensing Using Resonant Flexural Plate Wave Device With Sol-Gel PZT Thin Films” Proceedings of the Symposium of Design Test Integration and Packaging (DTIP) of MEMS and MOEMS, Stresa, Italy, 25-27 April 2007

23

Yu, J. （余志成）and Lin, H.Y. (2007) “The Design of a FPW Resonator using the Composite Membrane of PZT Layer and SiNx for Liquid Sensing”, Tamkang Journal of Science and Engineering, Vol. 10, No 2, pp. 163-166.(EI)

24

Jyh-Cheng YU（余志成）, Huang-Yao Lin, and Jong-Xin Tsai, (2007)“Application of Sol Gel Derived PZT Thin Films to the Design And Fabrication of Lamb Wave Sensing Devices” 第六屆海峽兩岸三地製造技術研討會論文集，2007年8月18~19日，陝西寶雞市，中國。

25

J. Yu（余志成）(2008) “Design and Fabrication of Flexure Plate Wave Micro- Sensors Using Lead Zirconium Titanate Thin Films ,” Third Japan-Taiwan on Future Frequency Control Devices, Dec. 1-5, 2008, Kaohsiung, Taiwan.

26

張喬凱、李炯達、余志成 (2008) “三軸式微加速度器模態系統設計”，中國機械工程學會第二十五屆全國學術研討會，中華民國九十七年11月21~22日，彰化，大葉大學。

27

余志成、徐珮凱、黃世仁、盧燕祥(2008)“配合矽基非等向蝕刻之幾何特性進行導光板特徵分佈的模糊最佳化”， 精密機械與模具技術研討會，中華民國九十七年一月，國立高雄第一科技大學，高雄。

28

Yu, J. （余志成）and Lin, H.Y. (2008) “Liquid Density Sensing Using Resonant Flexural Plate Wave Devices with Sol-Gel PZT Thin Films”, Microsystem Technologies. Vol. 14, No. 7, pp. 1073-1079. (SCI/EI, I.F.:1.229, Material Science, Multidisciplinary Rank Factor: 89/192)

29

J. Yu（余志成）and J.-X. Wu (2009) “Analysis of Material Processing of Sol-Gel Derived PZT to the Performance of Microaccelerometer Applications” Proceedings of the Symposium of Design Test Integration and Packaging (DTIP) of MEMS and MOEMS, Rome, Italy, 1-3 April 2009.

30

Yu, J.（余志成）, Wu, J., Yeh, T., and Chou, C. -C. (2009)“Compatibility of Material Processing and Fabrication of PZT Based Devices”, Ferroelectrics, 383:1,127-132. (SCI/EI, I.F.:0.562, Materials Science, Multidisciplinary, Rank Factor: 144/192)

31

Yu, J.（余志成）, Lee, C., and Chang, C. (2009)“Design and System Modeling of a Tri-Axial Microaccelerometer Using Piezoelectric Thin Films”, Ferroelectrics, 385:1,69 – 74. (SCI/EI, I.F.:0.562, Materials Science, Multidisciplinary, Rank Factor: 144/192)

32

Yeh, T., Shen, J., Yu, J.（余志成）, and Chou, C. -C. (2009)“Chemical Reactions during Wet-Etching Process of LSMO/PZT/LSMO-Structured Device Fabrication”, Ferroelectrics, 380:1,97 – 101. (SCI/EI, I.F.:0.562, Materials Science, Multidisciplinary, Rank Factor: 144/192)

33

吳雋祥、余志成“溶膠凝膠備製鋯鈦酸鉛薄膜製程與下電極材料對微加速計性能的影響” ， 2009年中國機械工程學會第二十六屆全國學術研討會, 2009/11/20~21，台南成功大學。

34

余志成、李炯達、張喬凱 (2009) “三軸式壓電微加速度計之設計與系統建模”，第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會，98年7月9～10日， 新竹交通大學。

35

Yu, J.（余志成）, Lee, C., Chang, C., and Kuo, W. (2011) “Modeling Analysis of a Triaxial Microaccelerometer with Piezoelectric Thin-Film Sensing Using Energy Method”, Microsystem Technologies, Vol. 17, No. 4, pp. 483–493. (SCI/EI, I.F.:1.071, Engineering, Electrical & Electronic Rank Factor: 115/247)

36

陳盟盛、李晏誠、余志成 “應用感應加熱退火於溶膠凝膠法備製鋯鈦酸鉛薄膜與其特性分析”，2011年中國機械工程學會第二十八屆全國學術研討會, 2011/12/10~11，台中中興大學。

37

李晏誠、許普皓、余志成 “一體化三維壓電薄膜微加速度計之參數設計”，2012 中華民國力學學會第三十六屆全國力學會議，2012/11/16~17，中央大學，中壢。